神马午夜_婷婷综合亚洲_午夜神马视频_日韩午夜电影_欧美色逼_午夜神马影院_丁香五月综合_日韩色情网_精品国产天线2024_日本卡一卡二高清视频_脱内衣一件都不留视频,久久久无码精品亚洲无少妇,精品日韩二区三区精品视频,乱精品,欧美精品精品一区在线,亚洲精品久久久久久久久久吃药,美女视频脱空全都露视频免费,大战丰满老熟妇重囗味视频,亚洲国产欧洲综合997久久,综合伊人久久在,色欲迷墙视频,久久九九精品无码黄毛片,成人国产高清内射,精品久久久久久99人妻,久久九九少妇免费看A片,无码无在线观看直播,蜜芽亚洲无码一区二区三区,国产乱妇无码大片在线观看,欧美少妇内射,欧美日韩在线网址,中文字幕人妻熟女人妻洋洋,下岗美妇的肉唇一章视频,欧美日韩精品久久久免费观看,极品美女久久久久久久久久久,大乳喂奶中无码中文字幕,午夜影院欧美,五月丁香色综合久久,影音先锋吉吉av资源站,亚洲伊人男人天堂,无码精品人妻三级理论色,欧洲精品卡区卡三卡四卡

勻膠機是在速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。
概述
該設備主要用于晶片涂光刻膠，有自動、手動和半自動三種作方式。

送片盒中的晶片，自動送到承片臺上，用真空吸附，在主軸電機的帶動下旋轉，轉速100-9900轉/分(±10轉/分)，起動加速度可調。每道程序的持續時間，轉速、加速度、烘烤溫度、烘烤時間、預烘時間等藝參數均可通過編程控制。

勻膠機有個或多個滴膠系統，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現了多點滴膠或膠口移動式滴膠。膠膜厚度般在500-1000nm，同晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計行恒量控制。對涂過膠的晶片有上下刮邊能，去掉晶片正反面多余的光刻膠。

烘烤位，有隧道式遠紅外加熱，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干。烘烤過程在密封的爐子中行，通過抽真空排除揮發出來的有害物質。前烘結束后，將晶片送入收片盒內。

主軸轉速的穩定性和重復性是決定膠膜厚度均勻性和致性的關鍵，起動加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。
選購巧
從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節

旋轉速度
轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求 涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。產的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。
真空吸附系統的構
真空泵定要無油的，壓力標定準確，內 的無油真空泵實在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況，還會讓滴膠液不慎入真空管道系統成堵塞。用過產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這點許多外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。
材質的選擇
對于半導體化行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。例如都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆，PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。