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熱偶真空計利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
作原理
熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電流后會發熱。發出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導,或細線本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的點是此真空計的原理。

如果保持細線的發熱量即保持定的電流,則周圍壓力的時候氣體奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會升。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內的壓力。
征
利用氣體分子的熱傳導現象，可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細線溫度同時,也受到細線本身的固體熱傳導和熱輻射放熱的影響。因此度不。但是電路簡單，價格低廉。

另外此真空計在大氣壓狀態下也不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出，因此在自動控制方面容易控制。